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ディフューザー ポンプ 773303-ディフューザー とは ポンプ

古河明徳(九大) ターボ機械協会 ターボ機械102月号 1月10日 第62巻第1号 海水淡水化プラント用ro高圧ポンプ 實谷善則 (社)生産技術振興拡散ポンプ (かくさんポンプ、 英語 diffusion pump )は、 半導体 製造・加工装置などの真空チャンバーに主に用いられ...
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